Источники плазмы

APEL-IS-R

Максимальное напряжение разряда, В:5000;

Минимальное напряжение разряда, В:500;

Линейная плотность тока, А/м:0,1;

Максимальная средняя энергия ионов, эВ:2500;

Минимальная средняя энергия ионов, эВ:250;

Диаметр эмитирующей щели, мм:10; 200;

Максимальное рабочее давление, Па:0,25;

Минимальное рабочее давление, Па:0,05;

Производитель:ООО «Прикладная электроника»;