Placeholder

Elemental depth profiling of thin film systems by GD-OES

Бесплатно!

Описание материала

Recent developments in Glow Discharge Optical Emission Spectrometry (GD-OES) resulted in establishing this technique as a powerful tool for quantitative elemental depth profile analysis of coating-substrate systems and surface-modified materials. The present status of GD-OES as an analytical discipline is reviewed, methodology of quantitative depth profile analysis is described and the resulting analytical performance is presented on examples of PVD/CVD multiplayer hard coatings on steels and cemented carbides. It is shown that with GD-OES, it is possible to analyze the depth-resolved elemental composition of the coating and the substrate in a relatively simple experimental setup and with an accuracy approaching the bulk analysis of homogeneous
materials.

Характеристики

Автор(ы)

Weiss Z.

Язык

English

Типы файлов

pdf

Качество

excellent

Дата проведения

22-27 апреля 2002 г.

Название конференции

14-ый Международный симпозиум Тонкие пленки в оптике и электронике

место проведения

Украина Харьков

раздел конференции

Раздел V Механические свойства пленок

Раздел

Ионно-плазменное оборудование и технологии

Отзывы

Пока нет отзывов, хотели бы вы добавить свой отзыв?

Добавьте первый отзыв “Elemental depth profiling of thin film systems by GD-OES”