APEL-MRE-95/100

Free!

 

 

 

 

 

 

 

Product Description

Магнетронная распылительная система APEL-MRE-95/100 предназначена для распыления проводящих мишеней в процессах вакуумного нанесения тонкопленочных покрытий. Магнетронная распылительная система может эксплуатироваться в составе вакуумных напылительных установок, а также в научных целях при исследовании вакуумных разрядов. Магнетрон оснащен электромагнитной катушкой, позволяющей изменять степень несбалансированности. Тем самым изменяется плотность ионного тока на подложку. Изменение плотности ионного тока дает возможность управлять свойствами растущей пленки, что может оказаться полезным при разработке новых технологий.

Additional Information

Max Discharge Power, W

1500

Cathode geometry

Round planar

Minimum operating pressure, Pa

90

Diameter of the magnetron cathode, mm

100, 125, 75

Cathode Thickness, mm

10

Cooling Type

water-cooled directwater-cooled indirect

Type of Magnetron

Unbalanced

Type of Magnetic System

Permanent Magnets, Electromagnets

Maximum operating pressure, Pa

1

Working Gases

Nitrogen, Argon, Oxygen

Weight, kg

14

ООО «Прикладная электроника»

Reviews

There are no reviews yet, would you like to submit yours?

Be the first to review “APEL-MRE-95/100”