APEL-MRE-95/100

Бесплатно!

 

 

 

 

 

 

 

Описание материала

Магнетронная распылительная система APEL-MRE-95/100 предназначена для распыления проводящих мишеней в процессах вакуумного нанесения тонкопленочных покрытий. Магнетронная распылительная система может эксплуатироваться в составе вакуумных напылительных установок, а также в научных целях при исследовании вакуумных разрядов. Магнетрон оснащен электромагнитной катушкой, позволяющей изменять степень несбалансированности. Тем самым изменяется плотность ионного тока на подложку. Изменение плотности ионного тока дает возможность управлять свойствами растущей пленки, что может оказаться полезным при разработке новых технологий.

Характеристики

Максимальная мощность разряда, Вт

1500

Форма катода

Планарный круглый

Минимальное рабочее давление, Па

90

Диаметр катода магнетрона, мм

100, 125, 75

Толщина катода, мм

10

Тип охлаждения

водяное прямое, водяное косвенное

Тип магнетрона

Unbalanced

Тип магнитной системы

Постоянные магнитыЭлектромагниты

Максимальное рабочее давление, Па

1

Рабочие газы

АзотАргонКислород

Вес, кг

14

ООО «Прикладная электроника»

Отзывы

Пока нет отзывов, хотели бы вы добавить свой отзыв?

Добавьте первый отзыв “APEL-MRE-95/100”

Введите текст вашего объявления о Купле/продаже!

*

*

*