APEL-MR-IN

Free!

Product Description

Планарные магнетроны с круглым катодом используются при нанесении покрытий на небольшие подложки и в лабораторных исследованиях. Простота обращения, невысокая цена делают их удобным инструментом на стадии разработки технологий.
Внутреннее расположение магнетронов применяется в вакуумных камерах колпакового типа. Магнетрон может устанавливаться в любом месте вакуумной камеры, легко изменяется расстояние мишень-подложка. Недостатком такого магнетрона является  использование внутри вакуумной камеры диэлектрических трубопроводов охлаждения, а также необходимость дополнительных водяных и электрических вводов.
Магнитная система магнетрона может быть выполнена как в сбалансированном, так и в несбалансированном вариантах.

Additional Information

Max Discharge Power, W

1000, 1500, 2500

Cathode geometry

Round planar

Diameter of the magnetron cathode, mm

100, 125, 75

Cathode Thickness, mm

8

Type of Magnetron

Balanced, Unbalanced

Type of Magnetic System

Permanent Magnets

Working Gases

Nitrogen, Argon, Oxygen

Maximum operating pressure, Pa

1

Minimum operating pressure, Pa

0,09

Cooling Type

water-cooled direct

Language

Russian

Types of files

pdf

ООО «Прикладная электроника»

Reviews

There are no reviews yet, would you like to submit yours?

Be the first to review “APEL-MR-IN”

Have an Ad? Submit it here!

*

*

*