APEL-MR-IN

Бесплатно!

Описание материала

Планарные магнетроны с круглым катодом используются при нанесении покрытий на небольшие подложки и в лабораторных исследованиях. Простота обращения, невысокая цена делают их удобным инструментом на стадии разработки технологий.
Внутреннее расположение магнетронов применяется в вакуумных камерах колпакового типа. Магнетрон может устанавливаться в любом месте вакуумной камеры, легко изменяется расстояние мишень-подложка. Недостатком такого магнетрона является  использование внутри вакуумной камеры диэлектрических трубопроводов охлаждения, а также необходимость дополнительных водяных и электрических вводов.
Магнитная система магнетрона может быть выполнена как в сбалансированном, так и в несбалансированном вариантах.

Характеристики

Максимальная мощность разряда, Вт

1000, 1500, 2500

Форма катода

Планарный круглый

Диаметр катода магнетрона, мм

100, 125, 75

Толщина катода, мм

8

Тип магнетрона

Balanced, Unbalanced

Тип магнитной системы

Постоянные магниты

Рабочие газы

АзотАргонКислород

Максимальное рабочее давление, Па

1

Минимальное рабочее давление, Па

0,09

Тип охлаждения

водяное прямое

Язык

Russian

Типы файлов

pdf

ООО «Прикладная электроника»

Отзывы

Пока нет отзывов, хотели бы вы добавить свой отзыв?

Добавьте первый отзыв “APEL-MR-IN”

Введите текст вашего объявления о Купле/продаже!

*

*

*