APEL-MLC

Product Description

Протяженные магнетронные распылительные системы с вращающимся цилиндрическим катодом предназначены для использования в высокопроизводительных вакуумных технологических установках для нанесения покрытий из металлов и их соединений на подложки большой площади, в частности на архитектурные стекла.
Конструктивно вращающийся магнетрон представляет собой трубу, выполненную из распыляемого металла, имеющую диаметр 60 -120 мм и длину до 3 м. Внутри мишени (катода) расположены магнитная система на основе постоянных магнитов и каналы для протока охлаждающей воды. Система уплотнений позволяет вращать катод магнетрона относительно магнитов, при этом в зону распыления попадают новые участки катода. Преимуществом цилиндрических магнетронов по сравнению с традиционными планарными магнетронами является высокая степень использования материала мишени – до 80%.  Магнетрон с вращающейся мишенью наиболее эффективен для применения в конвейерных технологических установках, либо в установках периодического действия с неподвижными технологическими источниками.Время непрерывной работы магнетрона может достигать 150 часов.

Additional Information

Max Discharge Power, W

30000

Cathode geometry

Cylindrical

Cylindrical cathode maximum diameter, mm

120

Cylindrical cathode minimum diameter, mm

60

Maximum cathode length, mm

3000

Minimum cathode length, mm

500

Cathode Thickness, mm

10

Type of Magnetic System

Permanent Magnets

Cooling Type

water-cooled directwater-cooled indirect

Working Gases

Nitrogen, Argon, Oxygen

Maximum operating pressure, Pa

1

Minimum operating pressure, Pa

0,1

ООО «Прикладная электроника»

Reviews

There are no reviews yet, would you like to submit yours?

Be the first to review “APEL-MLC”