APEL-MLC

Описание материала

Протяженные магнетронные распылительные системы с вращающимся цилиндрическим катодом предназначены для использования в высокопроизводительных вакуумных технологических установках для нанесения покрытий из металлов и их соединений на подложки большой площади, в частности на архитектурные стекла.
Конструктивно вращающийся магнетрон представляет собой трубу, выполненную из распыляемого металла, имеющую диаметр 60 -120 мм и длину до 3 м. Внутри мишени (катода) расположены магнитная система на основе постоянных магнитов и каналы для протока охлаждающей воды. Система уплотнений позволяет вращать катод магнетрона относительно магнитов, при этом в зону распыления попадают новые участки катода. Преимуществом цилиндрических магнетронов по сравнению с традиционными планарными магнетронами является высокая степень использования материала мишени – до 80%.  Магнетрон с вращающейся мишенью наиболее эффективен для применения в конвейерных технологических установках, либо в установках периодического действия с неподвижными технологическими источниками.Время непрерывной работы магнетрона может достигать 150 часов.

Характеристики

Максимальная мощность разряда, Вт

30000

Форма катода

Цилиндрический

Максимальный диаметр цилиндрического катода, мм

120

Минимальный диаметр цилиндрического катода, мм

60

Максимальная длина катода, мм

3000

Минимальная длина катода, мм

500

Толщина катода, мм

10

Тип магнитной системы

Постоянные магниты

Тип охлаждения

водяное прямое, водяное косвенное

Рабочие газы

АзотАргонКислород

Максимальное рабочее давление, Па

1

Минимальное рабочее давление, Па

0,1

ООО «Прикладная электроника»

Отзывы

Пока нет отзывов, хотели бы вы добавить свой отзыв?

Добавьте первый отзыв “APEL-MLC”

Введите текст вашего объявления о Купле/продаже!

*

*

*