APEL-ML

Product Description

Протяженные магнетронные распылительные системы с планарным катодом применяются при нанесении покрытий на крупногабаритные детали (архитектурные стекла, рулонные материалы и т.д.). В таких технологиях обычно очень высокие требования предъявляются к однородности толщины наносимых покрытий на всей площади подложки. Например, в технологии нанесения низкоэмиссионных покрытий на архитектурное стекло необходимо обеспечить однородность толщины пленок не хуже 2%. Достичь этого можно только тщательным образом рассчитывая и настраивая магнитную систему магнетрона. Для простых технологий, например, при изготовлении зеркал, нанесении металлических покрытий на фурнитуру, однородность нанесения не является критической. В принципе, длина планарных магнетронов может достигать 3 метров, но мы предпочитаем ограничиваться длиной не более 1 м, а  при необходимости сделать более длинный магнетрон, предлагаем использовать конструкцию с вращающимся катодом. Достоинством планарных магнетронов является простота изготовления мишени. Мишень из распространенных металлов (нержавеющая сталь, алюминий, медь, титан и т.д.) можно просто вырубить из листа. Планарные магнетроны имеют невысокий коэффициент использования мишени: 25 – 30%, поэтому если мишень выполнена из дорогого материала, и ее невозможно восстановить, то это становится существенным недостатком.
Протяженный магнетрон также может иметь сбалансированную и несбалансированную конфигурацию магнитного поля. Но в отличие от магнетрона с дисковой мишенью, изменение степени разбалансированности с помощью электромагнита уже затруднительно. Разбалансирование  магнетрона достигается выбором постоянных магнитов магнитной системы.

Additional Information

Max Discharge Power, W

30000

Cathode geometry

Extended planar

Maximum cathode width, mm

120

Minimum cathode width, mm

120

Maximum cathode length, mm

2000

Minimum cathode length, mm

300

Cathode Thickness, mm

10

Type of Magnetron

Balanced, Unbalanced

Type of Magnetic System

Permanent Magnets

Cooling Type

water-cooled directwater-cooled indirect

Working Gases

Nitrogen, Argon, Oxygen

Maximum operating pressure, Pa

1

Minimum operating pressure, Pa

0,1

ООО «Прикладная электроника»

Reviews

There are no reviews yet, would you like to submit yours?

Be the first to review “APEL-ML”

Have an Ad? Submit it here!

*

*

*