APEL-ML

Описание материала

Протяженные магнетронные распылительные системы с планарным катодом применяются при нанесении покрытий на крупногабаритные детали (архитектурные стекла, рулонные материалы и т.д.). В таких технологиях обычно очень высокие требования предъявляются к однородности толщины наносимых покрытий на всей площади подложки. Например, в технологии нанесения низкоэмиссионных покрытий на архитектурное стекло необходимо обеспечить однородность толщины пленок не хуже 2%. Достичь этого можно только тщательным образом рассчитывая и настраивая магнитную систему магнетрона. Для простых технологий, например, при изготовлении зеркал, нанесении металлических покрытий на фурнитуру, однородность нанесения не является критической. В принципе, длина планарных магнетронов может достигать 3 метров, но мы предпочитаем ограничиваться длиной не более 1 м, а  при необходимости сделать более длинный магнетрон, предлагаем использовать конструкцию с вращающимся катодом. Достоинством планарных магнетронов является простота изготовления мишени. Мишень из распространенных металлов (нержавеющая сталь, алюминий, медь, титан и т.д.) можно просто вырубить из листа. Планарные магнетроны имеют невысокий коэффициент использования мишени: 25 – 30%, поэтому если мишень выполнена из дорогого материала, и ее невозможно восстановить, то это становится существенным недостатком.
Протяженный магнетрон также может иметь сбалансированную и несбалансированную конфигурацию магнитного поля. Но в отличие от магнетрона с дисковой мишенью, изменение степени разбалансированности с помощью электромагнита уже затруднительно. Разбалансирование  магнетрона достигается выбором постоянных магнитов магнитной системы.

Характеристики

Максимальная мощность разряда, Вт

30000

Форма катода

Планарный протяжённый

Максимальная ширина катода, мм

120

Минимальная ширина катода, мм

120

Максимальная длина катода, мм

2000

Минимальная длина катода, мм

300

Толщина катода, мм

10

Тип магнетрона

Balanced, Unbalanced

Тип магнитной системы

Постоянные магниты

Тип охлаждения

водяное прямое, водяное косвенное

Рабочие газы

АзотАргонКислород

Максимальное рабочее давление, Па

1

Минимальное рабочее давление, Па

0,1

ООО «Прикладная электроника»

Отзывы

Пока нет отзывов, хотели бы вы добавить свой отзыв?

Добавьте первый отзыв “APEL-ML”

Введите текст вашего объявления о Купле/продаже!

*

*

*