APEL-IS-R

Product Description

Круглые ионные источники с замкнутым дрейфом электронов предназначены для финишной очистки небольших подложек перед нанесением покрытий, а также для нанесения покрытий методом химического газофазного осаждения

Additional Information

Linear current density A/m

0,1

Maximum average ion energy, eV

2500

Minimum average ion energy, eV

250

Maximum discharge voltage, V

5000

Minimum discharge voltage, V

500

Emission slit diameter, mm

10, 200

Working Gases

Nitrogen, Argon, Oxygen

Maximum operating pressure, Pa

0,25

Minimum operating pressure, Pa

0,05

Type of Magnetic System

Permanent Magnets

Cooling Type

Water-cooled

ООО «Прикладная электроника»

Reviews

There are no reviews yet, would you like to submit yours?

Be the first to review “APEL-IS-R”