APEL-IS-R

Описание материала

Круглые ионные источники с замкнутым дрейфом электронов предназначены для финишной очистки небольших подложек перед нанесением покрытий, а также для нанесения покрытий методом химического газофазного осаждения

Характеристики

Линейная плотность тока, А/м

0,1

Максимальная средняя энергия ионов, эВ

2500

Минимальная средняя энергия ионов, эВ

250

Максимальное напряжение разряда, В

5000

Минимальное напряжение разряда, В

500

Диаметр эмитирующей щели, мм

10, 200

Рабочие газы

АзотАргонКислород

Максимальное рабочее давление, Па

0,25

Минимальное рабочее давление, Па

0,05

Тип магнитной системы

Постоянные магниты

Тип охлаждения

Water-cooled

ООО «Прикладная электроника»

Отзывы

Пока нет отзывов, хотели бы вы добавить свой отзыв?

Добавьте первый отзыв “APEL-IS-R”

Введите текст вашего объявления о Купле/продаже!

*

*

*