APEL-IS-L

Free!

Product Description

Ионный источник APEL-IS-L предназначен для ионной очистки подложек перед нанесением покрытий, а также для ионного ассистирования процесса нанесения тонкопленочных покрытий.
Ионный источник может эксплуатироваться в составе вакуумных напылительных установок, а также в научных целях при исследовании вакуумных разрядов.

Additional Information

Linear current density A/m

0,2

Length of ion beam uniform area, mm

230 – 2930

Maximum average ion energy, eV

2500

Minimum average ion energy, eV

250

Maximum discharge voltage, V

5000

Minimum discharge voltage, V

500

Type of Magnetic System

Permanent Magnets

Working Gases

Nitrogen, Argon, Hydrogen, Oxygen

Maximum operating pressure, Pa

0,25

Minimum operating pressure, Pa

0,05

Cooling Type

Water-cooled

Types of files

pdf

Language

Russian

Reviews

There are no reviews yet, would you like to submit yours?

Be the first to review “APEL-IS-L”

ООО «Прикладная электроника»