Placeholder

Управление составом функционально-градиентных покрытий в переходных зонах

Бесплатно!

Категория: .

Описание материала

Показана необходимость разработки новых методов формирования двух- и трёхмерных функционально-градиентных покрытий. Сделан вывод о перспективности использования для решения стоящей задачи установок на основе инверсной магнетронной распылительной системы с газовым анодом, секционированными катодными узлами и осевыми потоками плазмы. Представлены и проанализированы результаты расчётно-аналитического эксперимента по выявлению влияния степени секционирования катодного узла исследуемой распылительной системы на возможность управления составом получаемых покрытий в различных точках на поверхности подложки. Даны рекомендации по выбору расположения секционированных катодов-мишеней в разрядном промежутке.

Характеристики

Автор(ы)

Гарин В.О., Колесник В.П., Литовченко Л.В., Слюсарь Д.В., Степанушкин Н.П.

Год издания

2015

6

Том

123

Язык

Russian

Типы файлов

pdf

Раздел

Ионно-плазменное оборудование и технологии

Качество

excellent

Отзывы

Пока нет отзывов, хотели бы вы добавить свой отзыв?

Добавьте первый отзыв “Управление составом функционально-градиентных покрытий в переходных зонах”

Введите текст вашего объявления о Купле/продаже!

*

*

*