Технология тонких плёнок. Том 1.

Бесплатно!

Справочник по технологии тонких плёнок- наиболее современное и фундаментальное издание, посвящённое тонким плёнкам твёрдых веществ, находящим широкое применение в микроэлектронике, оптике, магнитной технике, СВЧ и космической технике и др. В этот том включены главы 1-7
Читатель найдёт тут исчерпывающие справочные данные по различным методам получения твёрдых плёнок (техника высокого вакуума, физический механизм распыления материалов под действием ионной бомбардировки, методы получения плёнок путём ионного распыления)

 

Описание материала

Справочник по технологии тонких плёнок- наиболее современное и фундаментальное издание, посвящённое тонким плёнкам твёрдых веществ, находящим широкое применение в микроэлектронике, оптике, магнитной технике, СВЧ и космической технике и др. В этот том включены главы 1-7
Читатель найдёт тут исчерпывающие справочные данные по различным методам получения твёрдых плёнок (техника высокого вакуума, физический механизм распыления материалов под действием ионной бомбардировки, методы получения плёнок путём ионного распыления)

Характеристики

Под редакцией

Гленга Р., Майссела Л.

Перевод

Г.Г. Смолко, Под ред. М.И. Елинсона

Год издания

1977

Издательство

М.: Сов. Радио

Количество страниц

664

Язык

Russian

Типы файлов

djvu

Раздел

Ионно-плазменное оборудование и технологииФизика плазмы

Качество

good

Отзывы

Пока нет отзывов, хотели бы вы добавить свой отзыв?

Добавьте первый отзыв “Технология тонких плёнок. Том 1.”