Placeholder

Структура и механические свойства покрытий ZrN, получаемых осаждением потоков плазмы вакуумной дуги

Бесплатно!

Категория: .

Описание материала

Исследуются покрытия ZrN, получаемые осаждением потоков плазмы вакуумной дуги. Приведены результаты исследований влияния давления азота и потенциала подложки на скорость осаждения покрытий, их механические свойства, а также на структуру и фазовый состав. В области давлений 0,2—6,65 Па наблюдается существенное повышение скорости осаждения покрытий, обусловленное торможением электронного компонента плазмы при столкновениях с молекулами азота. Покрытия обладают высокими значениями нанотвердости (до 30 ГПа) и модуля Юнга (до 400 ГПа). При увеличении давления азота в покрытии реализуется двухфазное состояние — наряду с кубическим нитридом циркония стехиометрического (или даже сверхстехиометрического состава) в покрытии присутствует рентгеноаморфный нитрид, которому приписывают состав Zr3N4.

Характеристики

Качество

excellent

Том

12

1

Раздел

Ионно-плазменное оборудование и технологии

Типы файлов

pdf

Год издания

2014

Количество страниц

45-56

Язык

Russian

Автор(ы)

Белоус В.А., Василенко Р.Л., Колодий И.В., Куприн А.С., Леонов С.А., Тихоновский М.А., Толмачёва Г.Н., Хороших В.М.

Отзывы

Пока нет отзывов, хотели бы вы добавить свой отзыв?

Добавьте первый отзыв “Структура и механические свойства покрытий ZrN, получаемых осаждением потоков плазмы вакуумной дуги”