Placeholder

Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления

Бесплатно!

Категория: .

Описание материала

Проведены экспериментальные исследования стационарных режимов, а также порогов погасания магнетронного разряда с управляемым по величине и топологии магнитным полем. Предложено объяснение полученных результатов на основании пространственно-усредненной модели газового разряда с объемной ионизацией, адаптированной для магнетронного разряда.

Характеристики

Качество

excellent

Том

13

2

Раздел

Физика плазмы

Типы файлов

pdf

Год издания

2015

Количество страниц

264-275

Язык

Russian

Автор(ы)

Дудин С.В., Зыков А.В., Яковин С.Д.

Отзывы

Пока нет отзывов, хотели бы вы добавить свой отзыв?

Добавьте первый отзыв “Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления”