Placeholder

Система формирования потока быстрых нейтралов технологического назначения

Бесплатно!

Описание материала

Рассматриваются принципы формирования потока быстрых нейтралов в триодной, плазменной системе травления и очистки на постоянном токе.

Характеристики

Автор(ы)

Барченко В.Т., Миллер В.Т., Парфенов А.Ф.

Язык

Russian

Типы файлов

pdf

Качество

excellent

Дата проведения

22-27 апреля 2002 г.

Название конференции

14-ый Международный симпозиум Тонкие пленки в оптике и электронике

место проведения

Украина Харьков

раздел конференции

Раздел III Оборудование для нанесения тонких пленок

Раздел

Ионно-плазменное оборудование и технологии

Отзывы

Пока нет отзывов, хотели бы вы добавить свой отзыв?

Добавьте первый отзыв “Система формирования потока быстрых нейтралов технологического назначения”