Система напуска газов двухканальная ИНЖЕКТ

Описание материала

Система напуска газа духканальная ИНЖЕКТ (прибор серии СНА-2) предназначен для дистанционного управления напуском газов в ионно-вакуумных установках.

При работе с различными ионно-вакуумными установками возникает необходимость дозированного напуска газов в рабочие камеры. Один из наиболее простых и надежных приборов, служащих для этих целей – двухканальная система напуска ИНЖЕКТ.

В устройствах, имеющих обратную связь, она позволяет:

  • автоматически поддерживать заданное давление;
  • выбирать полярность сигнала обратной связи и сдвигать его фазу на 180o;
  • изменять постоянную времени усилителя обратной связи.

Для отпирания клапана в системе применено пьезострикционное устройство, обеспечивающее дистанционное управление натекателем, работу в режимах “да” и “нет” и модуляцию газового потока.

Наличие двух клапанов дает возможность осуществлять как поочередный, так одновременный напуск двух газов.

Дозирующая пара натекателя: нержавеющая сталь – медь безкислородная.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

Диапазон рабочих давлений, Ра 2,66×10-6 … 13,3
Расход газов при полностью открытом натекателе, m3×Pa/s, не менее 7×10-2
Питание: сеть переменного тока
напряжение, V 220
частота, Hz 50
Потребляемая мощность, VA,не более 40
Габаритные размеры, mm:
блок питания 250×230×140
натекатель 350×100×100
Масса, kg, не более 6

Характеристики

Количество каналов подачи рабочего газа

2

Напряжение питания, В

220

Частота тока, Гц

50

Количество фаз входного напряжения

1

Вес, кг

6

Максимальная потребляемая электрическая мощность, Вт

40

ННП “УКРРОСПРИБОР”

ОАО «Selmi»

Отзывы

Пока нет отзывов, хотели бы вы добавить свой отзыв?

Добавьте первый отзыв “Система напуска газов двухканальная ИНЖЕКТ”