РПГ-128

Описание материала

РПГ-128 – высокочастотный индукционный (безэлектродный) генератор высокоплотной плазмы для технологических применений, специально сконструированный для установки во фланец смотрового окна установок типа УВН-71 или аналогичных. Поскольку в свое время ионный источник типа «Радикал» был выполнен именно для этой геометрии фланца, то РПГ-128 может устанавливаться и во фланцах вместо этого устройства (установки типа «70-я» и «79-я» Калининградского завода «Кварц» и т.п.)
РПГ-128 предназначен для генерации высокоплотной плазмы (1-2*1012см-3 при мощности ВЧ-питания 13,56 МГц, 1 кВт) в различных газах и их смесях в широком диапазоне давлений (от 70 мПа до 100 Па).
Принцип работы РПГ-128 – безэлектродный индукционный разряд в слабом магнитном поле специальной конфигурации. Конструктивно выполнен в виде металлического цилиндра с накидным фланцем, за которым устанавливается согласующее устройство. Со стороны вакуумной камеры возбуждающая система РПГ-128 (антенна) защищена диэлектрическим экраном (кварц, сапфир). Внутренний объем РПГ-128 со всей системой электродов имеет заводскую юстировку геометрии и технологических зазоров и залит компаундом. Охлаждение устройства осуществляется проточной водой с расходом не менее 60 л/час, вода имеет земляной потенциал. Магнитная система выполнена в виде одиночной магнитной катушки и устанавливается соосно с РПГ-128 и юстируется относительно его корпуса. Сопротивление катушки 10 Ом, рабочий ток – 3 А.
Для питания РПГ-128 используется любой ВЧ-генератор промышленной частоты (13.56 МГц) мощностью 600 Вт и более. Для согласования генератора с нагрузкой используется автоматическое устройство согласования с подходящими параметрами (определяет фирма-поставщик РПГ) либо штатное автоматическое согласующее устройство, поставляемое вместе с РПГ.
Штатное размещение устройства согласования – на заднем фланце РПГ.

Особенности установки и эксплуатации РПГ-128

Радоичастотный плазменный генератор РПГ-128 может устанавливаться как в качестве фланца в окно вакуумной камеры, так и через скользящее уплотнение внутри вакуумного объёма. Варианты монтажа представлены на рисунках. Длина коаксиального ввода согласовывается с заказчиком для оптимального размещения устройства.

RFPG 128 inside 1 RFPG 128 outside 1
РИС. 2. ВАРИАНТЫ РАЗМЕЩЕНИЯ ГЕНЕРАТОРА ПЛАЗМЫ РПГ-128

Устройство устанавливается на фланец окна в следующей последовательности:

  1. Устройство устанавливается вместо смотрового стекла на штатную уплотнительную резину, и уплотняется по нему с помощью накидного фланца.
  2. Соосно к нему на специальном каркасе устанавливается катушка магнитной системы.
  3. На устройстве производят монтаж корпуса устройства согласования, подводят шланги водяного охлаждения, питания устройства согласования и катушки, кабель высокочастотного генератора.
  4. Производится откачка вакуумной камеры, напуск рабочей смеси газов до нужного давления ( оптимальный диапазон давлений определяется по технологическим соображениям, рекомендуемый производителем для ионной обработки, азотирования, восстановления в водородной плазме и ассистирования процессам напыления диапазон практически совпадает с «магнетронными» давлениями 0.1 -1 Па).
  5. Подается питание на магнитную катушку , устройство согласования и мощность от высокочастотного генератора (от 200 Вт  до 2-х кВт).

У среза диэлектрического экрана РПГ-128 загорается высокоплотная плазма, имеющая на аргоне при давлении 0.1 Па и ВЧ-мощности 1 кВт среднюю плотность ионного тока насыщения (отрицательное напряжение смещения 30 В) порядка 50 мА/см2 на площади подложкодержателя диаметром 100 мм., и 30 мА/см2 на диаметре 150 мм.
Ток измеряется на оси РПГ-128 на расстоянии 200 мм от плоскости диэлектрического окна.
РПГ-128 предназначен для длительной работы (не менее 8 часов непрерывно на мощности 1 кВт), без каких бы то ни было ограничений на состав газовой смеси.
РПГ-128 работоспособен в любых газах и смесях газов, не боится длительных нагрузок. Может использоваться в процессах плазмохимического осаждения и травления, нанесения покрытий с ионным ассистированием, реактивного напыления.
Для предотвращения нарушений работоспособности вследствие запыления диэлектрического окна хорошо проводящими покрытиями (медь, алюминий, серебро, золото и т.п.) устройство может быть укомплектовано дополнительным экраном специальной формы, устанавливаемым перед основным.

Характеристики

Рабочая частота, МГц

13,56

Максимальная мощность разряда, Вт

2000

Минимальная мощность разряда, Вт

200

Максимальное рабочее давление, Па

10

Минимальное рабочее давление, Па

0,1

Расход охлаждающей воды, л/час

60

ООО “Лаборатория вакуумных технологий”

Отзывы

Пока нет отзывов, хотели бы вы добавить свой отзыв?

Добавьте первый отзыв “РПГ-128”

Введите текст вашего объявления о Купле/продаже!

*

*

*