РПГ-250

Бесплатно!

Описание материала

РПГ-250 – безэлектродный генератор низкотемпературной плазмы высокой плотности, предназначенный для установки внутри технологического объёма вакуумной камеры. Устройство может быть использовано для широкого ряда технологических процессов, в том числе:

  • напыление различных материалов в плазме инертных или химически активных газов;
  • ионное и плазмохимическое травление;
  • испарение, в том числе с дополнительной ионизацией паров;
  • плазмостимулированное осаждение из газовой фазы;
  • ионная модификация поверхности (окисление, восстановление, азотирование, карбидизация и т.п.);
  • ионные очистка и ассистирование;
  • высокотемпературный отжиг.

Благодаря широкому диапазону рабочих давлений, генератор плазмы РПГ-250 позволяет управлять распределением плотности плазмы по технологическому объёму. При помощи внешних постоянных магнитных полей плазма может быть сформирована в виде сравнительно узких пучков, либо, наоборот, распределена равномерно на значительной обрабатываемой площади. Также возможно путём повышения давления свыше нескольких Па обеспечить локализацию плазмы в непосредственной близости от генератора плазмы и производить технологические процессы без участия заряженных частиц, но в большом потоке химически активных радикалов.

Характеристики

Рабочая частота, МГц

13,56

Максимальная мощность разряда, Вт

1500

Минимальная мощность разряда, Вт

300

Максимальное рабочее давление, Па

10

Минимальное рабочее давление, Па

0,1

Максимальное напряжение разряда, В

4000

Расход охлаждающей воды, л/час

50

ООО “Лаборатория вакуумных технологий”

Отзывы

Пока нет отзывов, хотели бы вы добавить свой отзыв?

Добавьте первый отзыв “РПГ-250”