Placeholder

Роль вторичных электронов и метастабильных атомов при электронно-пучковой активации аргон-силановых смесей

Бесплатно!

Категория: .

Описание материала

На основе решения интегрального уравнения Больцмана для функции распределения электронов рассмотрена энергетическая и пространственная деградация первичных электронов пучка и производство высокоэнергетических вторичных электронов в ионизирующих столкновениях. Исследовано влияние первичных и вторичных электронов на прямую ионизацию смеси Ar-SiH4, образование метастабильных атомов аргона, и диссоциацию молекул моносилана для широкого диапазона энергий электронного пучка, давления аргона и концентрации добавки моносилана к аргону. Влияние метастабильных атомов Ar* на диссоциацию SiH4 изучено на основе уравнений баланса для метастабильных атомов аргона и уравнений амбиполярной диффузии ионов и низкоэнергетических вторичных электронов (плазменных электронов) в пучковой плазме. Показано, что в электронно-пучковой плазме основной вклад в активацию смеси Ar SiH4 вносят вторичные электроны с энергией выше порогов возбуждения аргона и порогов диссоциации моносилана, а вклад метастабильных атомов аргона может быть соизмеримым с вкладом вторичных электронов, но оказывается меньшим, чем при активации газа в плазме газового разряда.

Характеристики

Качество

excellent

Том

34

1

Раздел

Физика плазмы

Типы файлов

pdf

Количество страниц

66-77

Язык

Russian

Автор(ы)

Сухинин Г.И., Федосеев А.В., Хмель С.Я.

Отзывы

Пока нет отзывов, хотели бы вы добавить свой отзыв?

Добавьте первый отзыв “Роль вторичных электронов и метастабильных атомов при электронно-пучковой активации аргон-силановых смесей”