Placeholder

Результаты исследования электроискровой обработки рутениевых резистивных пленок

Бесплатно!

Описание материала

Приводятся результаты исследования влияния амплитуды, частоты и длительности разрядных импульсов на величину относительного приращения сопротивления резисторов на основе рутениевых пленок.

Характеристики

Автор(ы)

Сухов А.М.

Язык

Russian

Типы файлов

pdf

Качество

excellent

Дата проведения

22-27 апреля 2002 г.

Название конференции

14-ый Международный симпозиум Тонкие пленки в оптике и электронике

место проведения

Украина Харьков

раздел конференции

Раздел II Термодинамика образования, фазовые диаграммы

Раздел

Ионно-плазменное оборудование и технологии

Отзывы

Пока нет отзывов, хотели бы вы добавить свой отзыв?

Добавьте первый отзыв “Результаты исследования электроискровой обработки рутениевых резистивных пленок”