Приставка магнетронного распыления ПМР-3-50

Product Description

Применяется как дополнительное оборудование в составе вакуумных установок. Позволяет распылять металлы, полупроводники и диэлектрики.

  1. Стандартная магнетронная приставка к ВН-2000, ВУП-5, ВУП-5М:
    — обечайка с магнетронами, диаметр мишени 52мм, устанавливается между рабочим столиком и колпаком (доработки колпака ВН-2000) не требуется;
    — блок питания 0,5 А, 800 В для последовательного включения магнетронов (устанавливается в приборе ВН-2000 на место высоковольтного блока, требуется доработка измерительной электрической схемы для индикации тока и напряжения; требуется изготовление заслонки и водяной гребенки).

Напыление — снизу вверх.

Питание — DC— и (или) RF— блок.

Габаритные размеры магнетронной приставки: диаметр — 290 мм, высота — 300мм.

Additional Information

Type of Magnetron

Balanced

Type of Magnetic System

Permanent Magnets

Diameter of the magnetron cathode, mm

52

Number of magnetrons

3

ННП “УКРРОСПРИБОР”

Reviews

There are no reviews yet, would you like to submit yours?

Be the first to review “Приставка магнетронного распыления ПМР-3-50”

Related products…