Приставка магнетронного распыления ПМР-3

Product Description

Магнетроны применяются в составе устройств магнетронного распыления для нанесения покрытий методом магнетронного распыления.

Магнетрон представляет собой планарный магнетрон, состоящий из охлаждаемого водой катода и анода. Снаружи к магнетрону осуществляется подвод напряжения через разъем на катод. Катод изолирован от анода изолятором.
Магнитная система магнетрона состоит из магнита кольцевого (NdFeB) и цилиндрического, магнитопровода.
Магнетрон устанавливается на основании рабочего объема в установочное место и фиксируется накидной гайкой. Вакуумное уплотнение обеспечивается с помощью уплотнителя. В другое установочное место основания рабочего объема устанавливается механизм поворота заслонкой.

Источники питания:
— блок питания постоянного тока;
— блок питания переменного тока.

Additional Information

Type of Magnetron

Balanced

Type of Magnetic System

Permanent Magnets

Diameter of the magnetron cathode, mm

42

Number of magnetrons

3

ННП “УКРРОСПРИБОР”

Reviews

There are no reviews yet, would you like to submit yours?

Be the first to review “Приставка магнетронного распыления ПМР-3”

Have an Ad? Submit it here!

*

*

*

Related products…