Приставка ионно-лучевого травления ИЛТ-8-200

Category: .

Product Description

Приставка предназначена для осуществления операций, связанных с распылением и травлением материалов в вакууме ионным пучком.

Приставка предназначена для установки и эксплуатации на приборе вакуумном универсальном посте ВУП-5М (ВУП-5), ВН-2000 и других вакуумных установках.
2.2 Приставка предназначена для осуществления операций, связанных с распылением и травлением материалов в вакууме ионным пучком с целью исследования полученных поверхностей и материалов (методами растровой и просвечивающей электронной микроскопии и другими).
2.3 Приставка может быть использована в лабораториях при исследованиях по физике твердого тела, микроэлектронике для получения новых материалов, а также применима при выполнении отдельных технологических операций.
2.4 Приставка предназначена для эксплуатации в стационарных условиях при температуре окружающего воздуха от 15 до 25ºС и относительной влажности не более 80%.
Приставка относится к исполнению УХЛ категории 4.2 по ГОСТ 15180-69.

3 ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ
3.1 Основные параметры и характеристики
3.1.1 Диапазон рабочего давления в объеме при работе приставки от 6,0•10-5 до 8•10-4 мм. рт. ст.
3.1.2 Электрическое питание приставки осуществляется от сети переменного тока напряжением 220 В частотой 50 Гц.
3.1.3 Потребляемая мощность не более 600 Вт.
3.1.4 Масса 60 кг.
3.1.5 Габаритные размеры, мм, не более:
рабочий объем внутренний диаметр — 230
высота — 250
высота с установленным
источником (сверху) — 500
модуль источников питания длина — 500

ширина — 520

высота — 180

3.1.6 Внутренний объем высоковакуумного объема приставки 12 л.
3.1.7 Максимальное напряжение на выходе высоковольтного блока питания анода не более 8 кВ.
3.1.8 Максимальное напряжение на выходе высоковольтного блока питания фокусирующего не более 8 кВ.
3.1.9 Напряжение блока питания разряда не менее 800В.
3.1.10 Разрядный ток ионных пушек (50 ± 3) мА.
3.1.11 Ионный ток на образце от 30 до 600 мкА.
3.1.12 Максимальное напряжение на пьезонатекатель 1450 В.

Additional Information

Maximum Electrical power consumption, W

600

Supply Voltage, V

220

Frequency of a current, Hz

50

Input Phase

1

Number of channels of a working gas

1

Weight, kg

60

Temperature range maximum, °C

25

Temperature range minimum, °C

15

Maximum operating pressure, Pa

0,106

Minimum operating pressure, Pa

8E-3

ННП “УКРРОСПРИБОР”

Reviews

There are no reviews yet, would you like to submit yours?

Be the first to review “Приставка ионно-лучевого травления ИЛТ-8-200”