Placeholder

Применение пучков 4Не2+ И 3Не2+ малогабаритного ускорителя “Сокол” для ионно-пучкового анализа

Бесплатно!

Категория: .

Описание материала

С помощью пучка ионов 4Не2+ и спектрометрии обратного рассеяния проведено исследование ряда планарных структур. В оптическом покрытии, состоящем из 13-и чередующихся слоев Ta2O5 и SiO2 на подложке из SiO2, определены толщины отдельных слоев. Измерено содержание кислорода в покрытии VN, сформированном путем напыления ванадия на подложку с одновременным облучением ионами азота (метод IBAD), и в покрытии Nb2O5, наносимом с помощью лазерного распыления. Кроме того, с помощью пучка ионов гелия 3Не2+ и ядерной реакции D(3He,p)4He измерено распределение концентрации дейтерия в слое дейтерида титана, нанесенного на молибденовую подложку.

Характеристики

Раздел

Ионно-плазменное оборудование и технологии

Том

2

2

Типы файлов

pdf

Язык

Russian

Год издания

2015

Количество страниц

90-98

Автор(ы)

Bondarenko V.N., Glazunov L.S., Goncharov A.V., Karpus S.G., Kuz’menko V.V., Pistryak V.M., Sukhostavets V.I., Zats A.V.

Отзывы

Пока нет отзывов, хотели бы вы добавить свой отзыв?

Добавьте первый отзыв “Применение пучков 4Не2+ И 3Не2+ малогабаритного ускорителя “Сокол” для ионно-пучкового анализа”

Введите текст вашего объявления о Купле/продаже!

*

*

*