Placeholder

Получение металлических пленок с высокой адгезией на «холодные» подложки

Бесплатно!

Описание материала

Рассмотрен вариант получения тонких пленок на «холодных» подложках. Приводятся описание аппаратного обеспечения и результаты исследований. Даны рекомендации по применению рассматриваемого метода получения тонких пленок.

Характеристики

Автор(ы)

Головяшкин А.Н., Лежнев Д.В., Печерская Р.М.

Язык

Russian

Типы файлов

pdf

Качество

excellent

Дата проведения

22-27 апреля 2002 г.

Название конференции

14-ый Международный симпозиум Тонкие пленки в оптике и электронике

место проведения

Украина Харьков

раздел конференции

Раздел III Механические свойства пленок

Раздел

Ионно-плазменное оборудование и технологии

Отзывы

Пока нет отзывов, хотели бы вы добавить свой отзыв?

Добавьте первый отзыв “Получение металлических пленок с высокой адгезией на «холодные» подложки”