Placeholder

Пленочные покрытия ультрафиолетового диапазона длин волн, полученные с использованием ионно-лучевых методов

Бесплатно!

Описание материала

Экспериментально определены и реализованы условия получения пленочных покрытий MgF2, Al2O3, NdF3 и Sc2O3 для ультрафиолетового диапазона длин волн. С этой целью на предварительной стадии осуществляется наноразмерная планаризация поверхностей подложек методом двойного ионно-лучевого распыления-осаждения. Непосредственно перед осаждением поверхность освежается потоком низкоэнергетичных ионов, а сам процесс электронно-лучевого осаждения производится на холодную подложку в сопровождении ионного потока и при рабочем давлении ниже 10-4 Торр.

Характеристики

Автор(ы)

Новицкий Н.Н., Стогний А.И., Тушина С.Д.

Язык

Russian

Типы файлов

pdf

Качество

excellent

Дата проведения

22-27 апреля 2002 г.

Название конференции

14-ый Международный симпозиум Тонкие пленки в оптике и электронике

место проведения

Украина Харьков

раздел конференции

Раздел II Оптические и эмиссионные свойства тонких пленок

Раздел

Ионно-плазменное оборудование и технологии

Отзывы

Пока нет отзывов, хотели бы вы добавить свой отзыв?

Добавьте первый отзыв “Пленочные покрытия ультрафиолетового диапазона длин волн, полученные с использованием ионно-лучевых методов”