Placeholder

Особенности распыления кремниевых и углеродных мишеней ускоренными ионами фуллерена C60

Бесплатно!

Категория: .

Описание материала

В работе исследованы закономерности роста пленок и эрозии поверхности при облучении мишеней из углерода и кремния пучком ускоренных ионов С60 с энергией в интервале 2,5– 24 кэВ при температуре мишеней 373 K. Установлено, что рост углеродных пленок на поверх¬ности облучаемых кремниевых мишеней наблюдается до энергий ионов 7 кэВ, а на поверхно¬сти углерода до 19 кэВ. При энергии ионов выше указанных значений пленка на поверхности не формируется и наблюдается эрозия материала мишеней. Исследованы структура и меха-нические свойства углеродных пленок, выращенных в интервале энергий ионов фуллерена 2,5–11,5кэВ.

Характеристики

Качество

excellent

Том

13

1

Раздел

Ионно-плазменное оборудование и технологии

Типы файлов

pdf

Год издания

2015

Количество страниц

91-104

Язык

Russian

Автор(ы)

А.С. Вус, Девизенко А.Ю., Дроздов А.Н., Зубарев Е.Н., Малеев М.В., Пуха В.Е.

Отзывы

Пока нет отзывов, хотели бы вы добавить свой отзыв?

Добавьте первый отзыв “Особенности распыления кремниевых и углеродных мишеней ускоренными ионами фуллерена C60”

Введите текст вашего объявления о Купле/продаже!

*

*

*