Placeholder

Особенности взаимодействия ускоренных инов С60 с поверхностью ITO мишени

Бесплатно!

Категория: .

Описание материала

В работе исследованы закономерности роста пленок и эрозии поверхности при облучении мишеней из оксида индия-олова (ITO, 90 % In2O3 + 10 % SnO2) пучком ускоренных ионов С60 с энергией в интервале 2,5–20 кэВ при температуре TS мишеней 373–673 K. Определена зависимость коэффициента распыления ITO от энергии бомбардирующих ионов. При энергии выше 3,75 кэВ TS = 373 K и происходит процесс травления поверхности мишени. Рост угле¬родных пленок на поверхности облучаемых мишеней из ITO наблюдается в интервале энергий ионов 2,5–3,75 кэВ. Обнаружена зависимость коэффициента распыления от температуры. При энергии ионов C60 5 кэВ до температуры 423 K происходит травление мишени, а выше температуры 448 K до 673 K рост пленки и уменьшение коэффициента распыления углерод¬ной пленки с повышением температуры.

Характеристики

Качество

excellent

Том

13

2

Раздел

Ионно-плазменное оборудование и технологии

Типы файлов

pdf

Год издания

2015

Количество страниц

184-195

Язык

Russian

Автор(ы)

Вус А.С., Дроздов А.Н., Зубарев Е.Н., Малеев М.В., Пеньков А.В., Пуха В.Е.

Отзывы

Пока нет отзывов, хотели бы вы добавить свой отзыв?

Добавьте первый отзыв “Особенности взаимодействия ускоренных инов С60 с поверхностью ITO мишени”

Введите текст вашего объявления о Купле/продаже!

*

*

*