Placeholder

Оборудование для нанесения тонких пленок в вакууме

Бесплатно!

Описание материала

Показан подход к выбору структурно-компоновочного варианта оборудования для нанесения тонких пленок в вакууме, основанный на теории производительности машин. Дана классификация методов нанесения тонких пленок и проанализированы этапы развития оборудования. Рассмотрены примеры современного оборудования для нанесения тонкопленочных покрытий на изделия микроэлектроники, архитектурные стекла, полимерную пленку.

Характеристики

Автор(ы)

Панфилов Ю.В.

Язык

Russian

Типы файлов

pdf

Качество

excellent

Дата проведения

22-27 апреля 2002 г.

Название конференции

14-ый Международный симпозиум Тонкие пленки в оптике и электронике

место проведения

Украина Харьков

раздел конференции

Раздел III Оборудование для нанесения тонких пленок

Раздел

Ионно-плазменное оборудование и технологии

Отзывы

Пока нет отзывов, хотели бы вы добавить свой отзыв?

Добавьте первый отзыв “Оборудование для нанесения тонких пленок в вакууме”