NanoMet 200

Free!

 

 

Product Description

Производство резистивных покрытий (РС5406, РС3610 и др.) на подложки из ситала и поликора.

Возможность нанесения металлических слоев (хрома, меди, алюминия, титана, циркония, тантала, золота, серебра и др.) толщиной до 15 мкм, а также комбинации в одном технологическом цикле до трех разных .

  • Удобство пользования

– компактная эргономичная конструкция;
– легкость доступа к катодам магнетронов;
– простота пользования программным обеспечением.

  • Повторяемость

– полная автоматизация технологических операций;
– автоматический самоконтроль программы;
– ведение и архивация протоколов процессов.

  •  Безопасность

– безопасные переключатели;
– система предохраняющих блокировок.

  •  Оптимизация технологических процессов

– максимальное использование зоны нанесения покрытий;
– использование одновременно до 3 магнетронных источников.

Additional Information

Maximum Electrical power consumption, W

17000

Ultimate pressure, Pa

2E-3

Type of high-vacuum pump

Diffusion pump

High Vacuum Pump

НД-400

Number of high-vacuum pumps

1

Number of backing pumps

1

Type of backing pump

Rotary Vane Pump

Number of channels of a working gas

3

Number of magnetrons

3

Type of Magnetron

Unbalanced

Maximum discharge current of the magnetron, A

7

Minimum discharge current of the magnetron, A

0,5

Heating temperature of substrate, K

323, 573

Maximum beam current, A

1

Minimum beam current, A

0,2

Maximum average ion energy, eV

3000

Minimum average ion energy, eV

300

Form of the process chamber

Cylindrical

Diameter of the process chamber, mm

600

Types of files

pdf

Language

Russian

Quality

excellent

НПФ «Элан-Практик»

Reviews

There are no reviews yet, would you like to submit yours?

Be the first to review “NanoMet 200”

Have an Ad? Submit it here!

*

*

*