НаноМет 200

Бесплатно!

 

 

Описание материала

Производство резистивных покрытий (РС5406, РС3610 и др.) на подложки из ситала и поликора.

Возможность нанесения металлических слоев (хрома, меди, алюминия, титана, циркония, тантала, золота, серебра и др.) толщиной до 15 мкм, а также комбинации в одном технологическом цикле до трех разных .

  • Удобство пользования

– компактная эргономичная конструкция;
– легкость доступа к катодам магнетронов;
– простота пользования программным обеспечением.

  • Повторяемость

– полная автоматизация технологических операций;
– автоматический самоконтроль программы;
– ведение и архивация протоколов процессов.

  •  Безопасность

– безопасные переключатели;
– система предохраняющих блокировок.

  •  Оптимизация технологических процессов

– максимальное использование зоны нанесения покрытий;
– использование одновременно до 3 магнетронных источников.

Характеристики

Максимальная потребляемая электрическая мощность, Вт

17000

Предельное давление, Па

2E-3

Тип высоковакуумного насоса

Diffusion pump

Высоковакуумный насос

НД-400

Количество высоковакуумных насосов

1

Количество форвакуумных насосов

1

Тип форвакуумного насоса

Rotary Vane Pump

Количество каналов подачи рабочего газа

3

Количество магнетронов

3

Тип магнетрона

Unbalanced

Максимальный ток разряда магнетрона, А

7

Минимальный ток разряда магнетрона, А

0,5

Температура нагрева подложки, К

323, 573

Максимальный ток пучка, А

1

Минимальный ток пучка, А

0,2

Максимальная средняя энергия ионов, эВ

3000

Минимальная средняя энергия ионов, эВ

300

Форма технологического отсека

Cylindrical

Диаметр технологического отсека, мм

600

Типы файлов

pdf

Язык

Russian

Качество

excellent

НПФ «Элан-Практик»

Отзывы

Пока нет отзывов, хотели бы вы добавить свой отзыв?

Добавьте первый отзыв “НаноМет 200”

Введите текст вашего объявления о Купле/продаже!

*

*

*