PM.01-03

Product Description

Устройство магнетронного распыления МП.01-03 эксплуатируется в составе установок вакуумного напыления и предназначено для получения тонкопленочных покрытий различного назначения. Катод-мишень устройства магнетронного распыления является источником распыляемого материала. Устройство магнетронного распыления типа МП.01-03 используется для распыления  токопроводящих немагнитных материалов. Устройство магнетронного распыления является составной частью магнетронно-распылительной системы и эксплуатируется совместно с блоком питания и системой подачи рабочего газа. Изделие может эксплуатироваться в лабораторных и производственных помещениях при соблюдении температуры окружающей среды от 5 °С до 40 °С, при относительной влажности не более 80%.

Устройство магнетронного распыления МП.01-03 специально разработано для модернизации существующих установок БУЛАТ-6 для перевода их с дугового режима работы на магнетронный. Замена штатных дуговых источников напыляемого материала позволяет существенно снизить температуру обрабатываемых подложек, что даёт возможность обрабатывать детали с низкой температурой фазовых переходов. Кроме того, в составе потока материала, генерируемого устройство магнетронного распыления МП.01-03, полностью отсутствует капельная фаза, что позволяет получать более качественные покрытия без пор и с меньшей шероховатостью поверхности. При изготовлении устройства магнетронного распыления МП.01-03 используется большое количество деталей от штатного дугового источника плазмы установки Булат-6, что существенно удешевляет и ускоряет процесс ее модернизации.

[youtube]http://youtu.be/zZXq_056Mkk[/youtube]

[youtube]http://youtu.be/7C9KWHJ7hfI[/youtube]

Дуга

Поверхность детали с покрытием, нанесённым при помощи штатного дугового источника установки Булат-6

Магнетрон

Поверхность детали с покрытием, нанесённым при помощи устройства магнетронного распыления МП.01-03

Additional Information

Max Discharge Power, W

6000

Cathode geometry

Round planar

Diameter of the magnetron cathode, mm

116

Cathode Thickness, mm

8

Type of Magnetron

Balanced

Type of Magnetic System

Permanent Magnets

Working Gases

Nitrogen, Argon, Oxygen

Maximum operating pressure, Pa

1

Minimum operating pressure, Pa

0,12

Cooling Type

water-cooled direct

Отделение ионно-плазменных технологий и оборудования

Reviews

There are no reviews yet, would you like to submit yours?

Be the first to review “PM.01-03”

Have an Ad? Submit it here!

*

*

*