МП.01-03

Описание материала

Устройство магнетронного распыления МП.01-03 эксплуатируется в составе установок вакуумного напыления и предназначено для получения тонкопленочных покрытий различного назначения. Катод-мишень устройства магнетронного распыления является источником распыляемого материала. Устройство магнетронного распыления типа МП.01-03 используется для распыления  токопроводящих немагнитных материалов. Устройство магнетронного распыления является составной частью магнетронно-распылительной системы и эксплуатируется совместно с блоком питания и системой подачи рабочего газа. Изделие может эксплуатироваться в лабораторных и производственных помещениях при соблюдении температуры окружающей среды от 5 °С до 40 °С, при относительной влажности не более 80%.

Устройство магнетронного распыления МП.01-03 специально разработано для модернизации существующих установок БУЛАТ-6 для перевода их с дугового режима работы на магнетронный. Замена штатных дуговых источников напыляемого материала позволяет существенно снизить температуру обрабатываемых подложек, что даёт возможность обрабатывать детали с низкой температурой фазовых переходов. Кроме того, в составе потока материала, генерируемого устройство магнетронного распыления МП.01-03, полностью отсутствует капельная фаза, что позволяет получать более качественные покрытия без пор и с меньшей шероховатостью поверхности. При изготовлении устройства магнетронного распыления МП.01-03 используется большое количество деталей от штатного дугового источника плазмы установки Булат-6, что существенно удешевляет и ускоряет процесс ее модернизации.

Дуга

Поверхность детали с покрытием, нанесённым при помощи штатного дугового источника установки Булат-6

Магнетрон

Поверхность детали с покрытием, нанесённым при помощи устройства магнетронного распыления МП.01-03

Характеристики

Максимальная мощность разряда, Вт

6000

Форма катода

Планарный круглый

Диаметр катода магнетрона, мм

116

Толщина катода, мм

8

Тип магнетрона

Balanced

Тип магнитной системы

Постоянные магниты

Рабочие газы

АзотАргонКислород

Максимальное рабочее давление, Па

1

Минимальное рабочее давление, Па

0,12

Тип охлаждения

водяное прямое

Отделение ионно-плазменных технологий и оборудования

Отзывы

Пока нет отзывов, хотели бы вы добавить свой отзыв?

Добавьте первый отзыв “МП.01-03”