Магнетрон-145

Описание материала

Протяжённые (линейные) магнетроны – устройства, предназначенные для распыления прямоугольных мишеней

Назначение: нанесение ионным распылением различных материалов: металлов, сплавов, а также диэлектриков в реактивном режиме.

Мишенедержатель и магнитная система имеют независимые друг от друга каналы охлаждения. Отвод тепла от магнитов обеспечивается с помощью охлаждаемого шунта, исключается контакт магнитов с водой, тем самым срок их службы увеличивается.

Варианты магнетронов: обычные, сверхскоростные, с перемещаемой магнитной системой, в герметичном корпусе, со встроенной заслонкой и приводом, высокочастотные.

Характеристики

Максимальная мощность разряда, Вт

3500

Максимальное рабочее давление, Па

10

Минимальное рабочее давление, Па

0,07

Максимальная длина катода, мм

145

Минимальная длина катода, мм

145

Максимальная ширина катода, мм

80

Минимальная ширина катода, мм

80

Толщина катода, мм

12

Максимальное напряжение разряда, В

800

Минимальное напряжение разряда, В

300

ООО “Лаборатория вакуумных технологий”

Отзывы

Пока нет отзывов, хотели бы вы добавить свой отзыв?

Добавьте первый отзыв “Магнетрон-145”

Введите текст вашего объявления о Купле/продаже!

*

*

*