МАГНЕТРОННАЯ РАСПЫЛИТЕЛЬНАЯ СИСТЕМА МКЭ-95/100

Free!

Product Description

Магнетронные распылительные системы являются высокоэффективными устройствами для нанесения покрытий из металлов (Ti, Zr, Cr, AI, Cu, Au, Ag и др.), сплавов, оксидов и нитридов методом магнетронного распыления на постоянном или импульсном токе.

Additional Information

Max Discharge Power, W

1500

Cathode geometry

Round planar

Diameter of the magnetron cathode, mm

100, 95

Cathode Thickness, mm

8

Type of Magnetron

Unbalanced

Type of Magnetic System

Permanent Magnets, Electromagnets

Working Gases

Nitrogen, Argon, Oxygen

Maximum operating pressure, Pa

1

Minimum operating pressure, Pa

0,09

Types of files

pdf

Language

Russian

Pages

19

ООО «Прикладная электроника»

Reviews

There are no reviews yet, would you like to submit yours?

Be the first to review “МАГНЕТРОННАЯ РАСПЫЛИТЕЛЬНАЯ СИСТЕМА МКЭ-95/100”