Placeholder

Исследование характеристик плазмы в несбалансированной магнетронной распылительной системе

Бесплатно!

Категория: .

Описание материала

Представлены результаты экспериментальных исследований магнетронной распылительной системы. Такая система позволяет реализовать различные конфигурации магнитного поля над поверхностью катода. Были исследованы вольтамперные характеристики магнетронного разряда при различных давлениях рабочего газа (0.08-0.3 Па) и токах в разбалансирующей катушке. В целях изучения процесса формирования и переноса носителей заряда в магнетронном разряде с несбалансированной конфигурацией магнитного поля были проведены зондовые измерения характеристик плазмы и энергии ионов в области, простирающейся от магнитной ловушки у поверхности катода до подложки. В несбалансированном режиме работы радиальные распределения плотности ионного тока, потенциала плазмы и плавающего потенциала имеют ярко выраженные экстремумы на оси магнетрона. При аксиальном магнитном поле, достаточном для эффективного удержания электронов и предотвращения их ухода на стенки камеры, плотность плазмы в области подложки может быть значительно увеличена.

Характеристики

Качество

excellent

Том

35

5

Раздел

Ионно-плазменное оборудование и технологии

Типы файлов

pdf

Количество страниц

443–452

Язык

Russian

Автор(ы)

Оскомов К.В., Работкин С.В., Соловьёв А.А., Сочугов Н.С.

Отзывы

Пока нет отзывов, хотели бы вы добавить свой отзыв?

Добавьте первый отзыв “Исследование характеристик плазмы в несбалансированной магнетронной распылительной системе”