Placeholder

Исследование твердости сверхтонких пленок

Бесплатно!

Описание материала

Представлены экспериментальные результаты исследований механических свойств сверхтонких пленок Al, Cu, Ti, Nb, сформированных на алюминиевой основе методами термического и дугового осаждения. Получены экспериментальные значения твердости композиций Al-Al, Al-Cu, Al-Ti, Al-Nb для различных толщин пленок и расчетные значения твердости нанопленок.

Характеристики

Автор(ы)

Бойченко М.К., Булыгина Е.В., Быков Ю.А., Карпухин С.Д., Осипов А.В., Панфилов Ю.В.

Язык

Russian

Типы файлов

pdf

Качество

excellent

Дата проведения

22-27 апреля 2002 г.

Название конференции

14-ый Международный симпозиум Тонкие пленки в оптике и электронике

место проведения

Украина Харьков

раздел конференции

Раздел III Механические свойства пленок

Раздел

Ионно-плазменное оборудование и технологии

Отзывы

Пока нет отзывов, хотели бы вы добавить свой отзыв?

Добавьте первый отзыв “Исследование твердости сверхтонких пленок”