Placeholder

Исследование структуры и оптических свойств YSZ пленок, полученных на Si в условиях ионной стимуляции

Бесплатно!

Описание материала

We have investigated the optical properties of in-terface between a film YSZ and silicon substrate de-pending on parameters of ion stimulation during the film growth by magnetron deposition. It is shown, that the ion bombardment at an initial stage of the film growth gives clarifying effect due to the activation of mutual diffusion YSZ and Si. Also the dependence of the crystal structure of YSZ films on the parameters of ion bombardment is established.

Характеристики

Автор(ы)

Бочкарев В.Ф., Горячев А.А., Наумов В.В., Трушин О.С.

Язык

Russian

Типы файлов

pdf

Качество

excellent

Дата проведения

22-27 апреля 2002 г.

Название конференции

14-ый Международный симпозиум Тонкие пленки в оптике и электронике

место проведения

Украина Харьков

раздел конференции

Раздел II Оптические и эмиссионные свойства тонких пленок

Раздел

Ионно-плазменное оборудование и технологии

Отзывы

Пока нет отзывов, хотели бы вы добавить свой отзыв?

Добавьте первый отзыв “Исследование структуры и оптических свойств YSZ пленок, полученных на Si в условиях ионной стимуляции”