Placeholder

Использование рентгеновских стоячих волн для выявления перемешанных зон на границах раздела аморфных слоев в периодических многослойных композициях W/Si

Бесплатно!

Описание материала

Методом рентгеновских стоячих волн выявлены перемешанные зоны на границах раздела слоев W и Si в многослойных периодических W/Si композицях, полученных магнетронным распылением. Установлено, что образование тонких аморфных слоев дисилицида вольфрама в результате межслоевого взаимо-действия характерно для обоих типов границ раздела.

Характеристики

Автор(ы)

Малыхин С.В., Першин Ю.П., Пинегин В.И., Пугачев А.Т., Решетняк Е.Н.

Язык

Russian

Типы файлов

pdf

Качество

excellent

Дата проведения

22-27 апреля 2002 г.

Название конференции

14-ый Международный симпозиум Тонкие пленки в оптике и электронике

место проведения

Украина Харьков

раздел конференции

Раздел IV Методы исследования физических свойств и структуры

Раздел

Ионно-плазменное оборудование и технологии

Отзывы

Пока нет отзывов, хотели бы вы добавить свой отзыв?

Добавьте первый отзыв “Использование рентгеновских стоячих волн для выявления перемешанных зон на границах раздела аморфных слоев в периодических многослойных композициях W/Si”