Ионно-лучевые методы получения тонких пленок

Бесплатно!

Описание материала

Методическое пособие предназначено для студентов четвертого курса, приступивших к изучению спецкурса «Физика поверхности и тонких пленок». Во введении содержатся краткие сведения о тонких пленках и рассмотрены основные процессы, происходящие при их формировании. Кратко рассмотрены также основные методы их получения и приведены сравнительные характеристики этих методов. Подробно рассмотрены принципы действия и конструкции установок для магнетронного нанесения пленок, работающих на постоянном токе и с использованием ВЧ-распыления, и ионно-лучевому синтезу. Далее приведено описание лабораторных работ и порядок их выполнения. Издание второе, исправленное и дополненное. Подготовлено для опубликования в электронном виде.

Характеристики

Автор(ы)

Гумаров Г.Г., Петухов В.Ю.

Год издания

2010

Издательство

Казань: Казанский государственный университет

Количество страниц

87

Язык

Russian

Типы файлов

pdf

Раздел

Ионно-плазменное оборудование и технологии

Качество

excellent

Отзывы

Пока нет отзывов, хотели бы вы добавить свой отзыв?

Добавьте первый отзыв “Ионно-лучевые методы получения тонких пленок”