Placeholder

Ионно-лучевое перемешивание в многослойных рентгеновских зеркалах Mо/Si

Бесплатно!

Описание материала

Исследованы структурные изменения в многослойных рентгеновских зеркалах Mo/Si при облучении ионами гелия. Установлено, что облучение приводит к уменьшению периода зеркала, которое сопро-вождается уменьшением толщин слоев молибдена и кремния, увеличением толщин перемешанных зон и уменьшением их плотности. Такое изменение структуры приводит к ухудшению рентгенооптических характеристик рентгеновского зеркала.

Характеристики

Автор(ы)

Воронов Д.Л., Зубарев Е.Н., Кондратенко В.В., Пеньков А.В., Перегон Т.И., Тищенко Л.П.

Язык

Russian

Типы файлов

pdf

Качество

excellent

Дата проведения

22-27 апреля 2002 г.

Название конференции

14-ый Международный симпозиум Тонкие пленки в оптике и электронике

место проведения

Украина Харьков

раздел конференции

Раздел II Термодинамика образования, фазовые диаграммы

Раздел

Ионно-плазменное оборудование и технологии

Отзывы

Пока нет отзывов, хотели бы вы добавить свой отзыв?

Добавьте первый отзыв “Ионно-лучевое перемешивание в многослойных рентгеновских зеркалах Mо/Si”