Placeholder

Интегрированные ионные процессы в тонкопленочной технологии формирования силицидов титана

Бесплатно!

Описание материала

Рассмотрена кинетика формирования силицида титана методом стимулированного твердофазного синтеза, выявлено влияние режимов ионной бомбардировки на химический состав, размер зерна, структуру и электрофизические свойства конденсируемых слоев.

Характеристики

Автор(ы)

Белевский В.П., Вербицкий В.Г.

Язык

Russian

Типы файлов

pdf

Качество

excellent

Дата проведения

22-27 апреля 2002 г.

Название конференции

14-ый Международный симпозиум Тонкие пленки в оптике и электронике

место проведения

Украина Харьков

раздел конференции

Раздел I Механизмы роста и структура тонких пленок

Раздел

Ионно-плазменное оборудование и технологии

Отзывы

Пока нет отзывов, хотели бы вы добавить свой отзыв?

Добавьте первый отзыв “Интегрированные ионные процессы в тонкопленочной технологии формирования силицидов титана”