Placeholder

Импульсные магнетронные распылительные системы

Бесплатно!

Описание материала

Рассмотрены особенности работы импульсных магнетронных распылительных систем для нанесения тонкослойных покрытий, их преимущества перед обычными распылительными системами и основная терминология. Представлены способы устранения искрений и дугообразований на мишени при работе с реакционными газами и основные принципы построения устройств импульсного электрического питания. Приведены результаты некоторых применений импульсных систем в технологии нанесения покрытий.

Характеристики

Автор(ы)

Кузьмичев А.И.

Язык

Russian

Типы файлов

pdf

Качество

excellent

Дата проведения

22-27 апреля 2002 г.

Название конференции

14-ый Международный симпозиум Тонкие пленки в оптике и электронике

место проведения

Украина Харьков

раздел конференции

Раздел III Оборудование для нанесения тонких пленок

Раздел

Ионно-плазменное оборудование и технологии

Отзывы

Пока нет отзывов, хотели бы вы добавить свой отзыв?

Добавьте первый отзыв “Импульсные магнетронные распылительные системы”