ИИ-145

Бесплатно!

Описание материала

ИИ-145 представляет собой газоразрядный источник ионов, генерирующий протяжённый пучок. Предназначен для задач очистки, активации поверхности, ионного травления, ассистирования. Высокая однородность распределения плотности ионного тока вдоль источника делает его оптимальным выбором для работы на барабан или карусель с рабочей зоной около 120 мм.

Характеристики

Максимальный ток пучка, А

0,3

Линейная плотность тока, А/м

0,2

Длина зоны однородного пучка, мм

120

Максимальная средняя энергия ионов, эВ

2500

Минимальная средняя энергия ионов, эВ

250

Максимальное напряжение разряда, В

5000

Минимальное напряжение разряда, В

500

Тип магнитной системы

Постоянные магниты

Рабочие газы

CO2, АзотАргонВодородКислород

Максимальное рабочее давление, Па

10

Минимальное рабочее давление, Па

0,001

Тип охлаждения

Water-cooled

Расход охлаждающей воды, л/час

60

Типы файлов

pdf

Язык

Russian

ООО “Лаборатория вакуумных технологий”

Отзывы

Пока нет отзывов, хотели бы вы добавить свой отзыв?

Добавьте первый отзыв “ИИ-145”