Placeholder

Изучение влияния электронно-лучевой обработки на оптические характеристики пленки алюминия на подложке из стекла К-8 эллипсометрическим методом

Бесплатно!

Описание материала

Изучено влияние электронно-лучевой обработки на оптические свойства металлических пленок на стеклянных подложках при помощи метода эллипсометрии, в результате чего восстановлен профиль оптической неоднородности алюминиевой пленки на подложке из стекла К-8. Представлена методика интерпретации результатов эллипсометрических измерений при изучении оптической неоднородности на основе ее моделирования и применения номографического метода.

Характеристики

Автор(ы)

Дубровская Г.Н., Поздеев С.В., Поздеева О.В.

Язык

Russian

Типы файлов

pdf

Качество

excellent

Дата проведения

22-27 апреля 2002 г.

Название конференции

14-ый Международный симпозиум Тонкие пленки в оптике и электронике

место проведения

Украина Харьков

раздел конференции

Раздел IV Методы исследования физических свойств и структуры

Раздел

Ионно-плазменное оборудование и технологии

Отзывы

Пока нет отзывов, хотели бы вы добавить свой отзыв?

Добавьте первый отзыв “Изучение влияния электронно-лучевой обработки на оптические характеристики пленки алюминия на подложке из стекла К-8 эллипсометрическим методом”