Placeholder

Заполнение рабочей камеры технологической установки однородной плазмой с помощью стационарного тлеющего разряда

Бесплатно!

Категория: .

Описание материала

Приводятся результаты исследования тлеющего разряда с электростатическим удержанием электронов при давлении аргона 0.005-5 Па в рабочей камере объемом V ≈ 0.12 м3 технологической установки “Булат-6”. Камера, являющаяся полым катодом разряда, с площадью рабочей поверхности S ≈ 1.5 м2, оборудована вводами для погружения в плазму сменных анодов с площадью поверхности Sa от∼ 0.001 м2 до ∼ 0.1 м2 и изолированных от камеры и анода электродов с плавающим потенциалом. Полученные зависимости катодного падения потенциала Uc = 0.4-3 кВ от давления p при постоянных токах разряда I = 0.2-2 А свидетельствуют о том, что апертуру So ухода электронов из электростатической ловушки равна сумме So = Sa + Sf площадей анода Sa и электрода с плавающим потенциалом Sf, и определяет нижнюю границу po диапазона давлений, в котором Uc не зависит от p. При p < po катодное падение Uc с уменьшением давления резко возрастает, а p стремится к зависящему от So пределу pex – давлению погасания разряда. При p ≈ pex эмитированные катодом электроны и первое поколение образованных ими в катодном слое быстрых электронов практически всю свою энергию до 3 кэВ расходуют на нагрев до 600-800°С и выше анода и электродов на плавающем потенциале, а газ в камере ионизуют последующие поколения образованных в катодном слое электронов с меньшей на порядок энергией. При Sa < (2m/M)1/2S, где m и M – массы электрона и иона, анод дополнительно нагревается плазменными электронами, ускоренными положительным анодным падением Ua до 0.5 кВ.

Характеристики

Качество

excellent

Том

35

12

Раздел

Ионно-плазменное оборудование и технологии

Типы файлов

pdf

Количество страниц

1140–1149

Язык

Russian

Автор(ы)

Григорьев С.Н., Мельник Ю.А., Метель А.С., Панин В.В.

Отзывы

Пока нет отзывов, хотели бы вы добавить свой отзыв?

Добавьте первый отзыв “Заполнение рабочей камеры технологической установки однородной плазмой с помощью стационарного тлеющего разряда”