Dual-channel processing gas supply system AB4202

Free!

Category: .

Product Description

Газовая система (система подачи рабочего газа, газовый щит) АВ4202 предназначена для использования в составе технологических установок, связанных с применением различных газов и их смесей (установок магнетронного напыления, плазмохимического травления и осаждения и других). Система позволяет раздельно подавать в камеру установки два различных рабочих газа а также приготавливать смесь двух рабочих газов с заданными параметрами.

Конструкционным материалом магистралей газовой системы является нержавеющая сталь, а при сборке и монтаже системы выполняются все операции, необходимые для обеспечения чистоты системы и работы с чистыми газами. Диапазоны расхода газа, на который рассчитаны каналы системы подачи рабочего газа, определяются в соответствии с техническими требованиями, выполнение которых необходимо заказчику.

Управление системой подачи рабочего газа обеспечивается электронным микропроцессорным блоком АВ2201.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ДВУХКАНАЛЬНОЙ СИСТЕМЫ ПОДАЧИ РАБОЧЕГО ГАЗА АВ4202

  • Количество каналов подачи рабочего газа:    2 шт
  • Рекомендуемый блок управления:    АВ2201
  • Тип элементов, регулирующих поток рабочего газа:    РРГ-10 в стандартной комплектации (возможна комплектация по выбору Заказчика)
  • Исполнение элементов, регулирующих поток рабочего газа:    инертно-хлоридное в стандартной комплектации (возможна комплектация по выбору Заказчика)
  • Тип регуляторов давления:    РДМ-24 в стандартной комплектации (возможна комплектация по выбору Заказчика)
  • Запорная арматура:    AP 3540SM, AP 3600SM (ApTech)
  • Тип соединительных фитингов газовой панели:    VCR ¼” (SS-4-VCR)
  • Входные присоединительные фитинги газовой панели:    VCR ¼ male nut 9/16″-18
  • Выходной присоединительный фитинг газовой панели:    VCR ¼ female nut 9/16″-18
  • Тип присоединительных фитингов для подключения течеискателя:    ISO KF16 (по 1 на канал)
  • Напряжение питания регуляторов расхода газа (для РРГ-10):    ±15 В
  • Диапазон изменения напряжения на входах управления регуляторов расхода газа (для РРГ-10):    0 – 5 В
  • Диапазон изменения напряжения на выходах регуляторов расхода газа:    0 – 10 В
  • Напряжение питания пневматических коммутаторов (пилотных клапанов):    24 В (постоянное)
  • Давление воздуха, необходимое для работы пневматических клапанов:    4-8 бар
  • Присоединительный фитинг пневматической системы газовой панели:    быстроразъемный, внешний диаметр присоединяемой трубки 6 мм
  • Диапазон регулирования потоков рабочих газов:    по согласованию с Заказчиком
  • Габаритные размеры (без кабелей), не более:    440х470х140 мм
  • Время непрерывной работы в нормальных условиях:    не ограничено

Additional Information

Number of channels of a working gas

2

Pages

16

Language

Russian

Types of files

pdf

ООО “АВАКС”

Reviews

There are no reviews yet, would you like to submit yours?

Be the first to review “Dual-channel processing gas supply system AB4202”

Have an Ad? Submit it here!

*

*

*